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矩形阴极电弧/磁控溅射复合型真空镀膜设备

    矩形阴极电弧/磁控溅射复合型真空镀膜设备采用矩形平面阴极电弧离子镀膜技术和直流磁控溅射、中频磁控溅射技术、脉冲偏压技术结合在同一镀膜机上,这种模式已成为当前五金类离子镀膜主流技术。它既可以单独用电弧或单独用磁控溅射镀膜,也可以利用两种技术的优点在镀膜过程不同阶段发挥作用,比如在镀膜初始利用电弧的高能粒子轰击清洗和打底层,以增强膜/基结合力;随后用中频溅射镀中间主层,以得到细腻光滑组织;再用直流溅射镀顶层金等。该设备还可配离子源,可满足多功能镀膜的需要。这套真空镀膜设备主要广泛应用于工模具和中、高端卫浴产品镀膜。
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真空镀膜机 二次元测量仪