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工模具超硬膜离子镀膜机

工模具超硬膜离子镀膜机

     该真空镀膜设备
是为工具、刀具、模具镀硬质或超硬保护膜而设计的。真空镀室的真空密封和室内运动部件的设计和用材,充分考虑可承受高温,配置多只高效园形电弧蒸发源,或配多个矩形平面电弧蒸发源,也可配多只空心阴极枪,同时配置耐冲击的、具有优异灭闪弧性能的偏压电源,保证足够等离子体密度和反应活性,提高膜层致密性和结合力。
     工件可三维运动,提高膜层均匀性,全自动控制提高工艺稳定性,可镀制 TiN、TiCTiCNTiAlNTiAlCNTiCrNTiCrCNTiAlCrN、多层超硬膜等,应用于精密模具业(冲压模具、剪切模具、标准件模具、成型模具等)、工具行业(钻头、硬质合金、铣刀、拉刀、丝锥和齿轮刀具等),汽车工业(活塞、活塞环、合金轮毂等)。

技术参数:

真空室尺寸
700×900MM
900×1100MM
1000×1200MM
制膜种类
TiNTiCTiCNTiAlNTiAlCNTiCrNTiCrCNTiAlCrN、多层超硬膜等
应用行业
精密模具业、工具行业、汽车工业
电源类型
脉冲偏压电源、电弧电源、灯丝电源
真空室结构
立式双开门、后置抽气系统
极限真空
6.0×10-4PA
真空系统组成
扩散泵+罗茨泵+机械泵+维持泵
抽气时间
从大气抽至8.0×10-3PA,小于或等于15分钟
工件运动方式
公自转/变频调速
控制方式
手动/自动一体化式,触摸屏+PLC
膜层均匀性
±2%
膜层稳定性
达到国际标准
备注
以上设备可按客户实际及特殊工艺要求设计订做
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真空镀膜机 二次元测量仪