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东莞市汇成真空科技有限公司
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真空蒸镀铝涂层是发展的趋势

  真空镀膜发展很多年后,硬质材料的镀膜发展已经上了一个新的台阶。现在有新的一种方式发展出来,硬质涂层已经呈献多种发展的态势。在纯金属涂层的制备上,大都采用真空蒸发镀法。而纯金属中铝涂层,由于它用途广泛,如制镜工业中的以铝代银,集成电路中的铝刻蚀导线。因此,今年来真空镀铝工业在国内外不但发展迅速,而且,正向着溅射法、离子镀法等镀膜技术领域发展。

   我国引入硬质涂层技术,并长期从事硬质涂层生产,越来越多从事工具行业的专家认识到工具涂层的重要性,也有越来越多的厂家开始大规模的使用涂层工具,并开始实现工业化。

      可选用间歇式蒸发镀膜,也可选用半连续式真空镀膜机。其蒸发源可为电阻源,电子束源,也可以选用感应加热式蒸发源,可依据蒸镀膜材的具体要求而定。

      工艺参数,主要包括蒸镀室的压力、沉积速率、基片温度、蒸距等。例如,选用电子束蒸发源进行铝涂层制备时,其典型的主要工艺参数可选用:镀膜室工作压力为2.6X10-4Pa、蒸发速率为2~2.5nm/s、基片温度20℃、蒸距450nm、电子束枪电压为9kV,电流为0.2A。

     电子束蒸镀法所得到的膜厚分散度较大,即均匀性较差。这也是近年来真空镀铝膜有向着溅射法和离子镀法发展制备铝膜的趋势原因之一。

   东莞汇成真空集研发、生产和销售于一体的国家高新技术企业。拥有庞大的技术团队,和国内真空行业资深专家、教授和高级工程师,为行业高端客户开发出上百套满足不同工艺解决方案和镀膜设备。

 

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